Устойчивост на ламинат Gpo3

Изследвани са методът и характеристиките на 2100kev високоенергийна ванадиева инжекция в полуизолационния слой gpo3 ламинат. Разпределението на концентрацията на инжектирания слой е симулирано от Монте Карло анализ софтуер тапицерия С помощта на структура mesa за gpo3, Установено е, че устойчивостта на имплантирания слой ванадий е тясно свързана с първоначалния проводимост тип gpo3 слой При стайна температура устойчивостта на имплантирания ванадий p-тип и n-тип 4H SiC е 1,6, съответно × 10^10 и 7,6 × 10^6 Ω· cm Устойчивостта при различни анализиращи температури се измерва. Установено е, че високотемпературното анализиране благоприятства активирането на заместването на ванадий и повишаване на устойчивостта. Поради влиянието на ванадиевата дифузия, устойчивостта намалява леко след аналиране при 1700 °C Устойчивостта на имплантирания слой SiC ванадий от тип N при 20 ~ 140 °C е измерена. Активационната енергия на нивото на ванадиевия прием в 4H SiC е изчислена на 0,78ev